Процесс производства пластин включает в себя различные сложные процедуры и химические материалы. Остатки химических веществ, частицы и металлические материалы обычно обнаруживаются на поверхности пластин после различных этапов обработки. Если их не очищать своевременно, эти остатки могут накапливаться со временем, влияя на качество конечного продукта. Поэтому оборудование для очистки стало одним из важнейших аспектов разработки технологического процесса производства пластин.
С постоянным развитием технологии интегральных схем количество и частота использования оборудования для очистки значительно возросли. Скорость процесса очистки напрямую влияет на выход продукции при производстве пластин, составляя примерно 33% от всего производственного процесса. Следовательно, оборудование для очистки стало важным компонентом в процессе обработки пластин.
Существует два основных типа очистное оборудование По способу очистки: однокристальные и пакетные. Установки для очистки отдельных пластин состоят из нескольких камер очистки, где каждая пластина по отдельности подвергается очистке распылением. Этот метод обеспечивает отличные результаты очистки и минимизирует перекрестное загрязнение между пластинами. Однако его недостатком является меньшая производительность и более высокая стоимость. Установки для пакетной очистки предполагают размещение пластин в корзинах и их массовую очистку. Хотя этот метод обеспечивает более высокую производительность очистки и более низкие затраты, он может привести к перекрестному загрязнению пластин. Установки для пакетной очистки обычно состоят из коррозионностойких стеллажей, баков для кислоты, баков для воды, сушильных баков, блоков управления, вытяжных устройств, а также газо- и жидкостных трубопроводов.
За последние 30 лет химические компоненты, используемые при очистке пластин, практически не изменились, в основном применялся процесс очистки RCA с использованием кислых растворов перекиси водорода и гидроксида аммония. Однако последние достижения в области технологий очистки позволили внедрить новые процессы очистки, включая озоновую очистку и мегазвуковые системы очистки. Эти новые процессы были приняты многими фабриками по производству пластин для оптимизации эффективности очистки.
Таким образом, несмотря на то, что очистка отдельных пластин по-прежнему важна, оборудование для пакетной очистки продолжает доминировать в сфере очистки пластин благодаря своей экономичности и эффективности. Для получения информации об оборудовании для очистки пластин обращайтесь к представителям службы поддержки клиентов Silman Tech.