El proceso de fabricación de obleas implica varios procedimientos intrincados y materiales químicos. Es habitual encontrar residuos de sustancias químicas, partículas y materiales metálicos en la superficie de las obleas tras los distintos pasos de procesamiento. Si no se limpian a tiempo, estos residuos pueden acumularse con el tiempo, afectando a la calidad del producto final. Por lo tanto, el equipo de limpieza se ha convertido en un aspecto crucial del desarrollo del proceso de fabricación de obleas.
Con el continuo avance de la tecnología de circuitos integrados, el número y la frecuencia de uso de los equipos de limpieza han aumentado considerablemente. La tasa del proceso de limpieza repercute directamente en el rendimiento de la fabricación de obleas, constituyendo aproximadamente 33% de todo el proceso de producción. En consecuencia, los equipos de limpieza se han convertido en un componente esencial en el procesamiento de obleas.
Existen dos tipos principales de equipos de limpieza en función del método de limpieza: de oblea única y por lotes. Las máquinas de limpieza de obleas individuales constan de varias cámaras de limpieza, en las que cada oblea se somete individualmente a una limpieza por pulverización. Este método garantiza excelentes resultados de limpieza y minimiza la contaminación cruzada entre obleas. Sin embargo, tiene el inconveniente de un menor rendimiento de limpieza y unos costes más elevados. Las máquinas de limpieza por lotes colocan los barquillos en cestas y los someten a limpieza en bloque. Aunque este método ofrece un mayor rendimiento de limpieza y menores costes, puede dar lugar a contaminación cruzada entre obleas. Las máquinas de limpieza por lotes suelen constar de bastidores resistentes a la corrosión, tanques de ácido, tanques de agua, tanques de secado, unidades de control, unidades de escape y unidades de conducción de gases y líquidos.
En los últimos 30 años, los componentes químicos utilizados en la limpieza de obleas han permanecido prácticamente inalterados, basándose principalmente en el proceso de limpieza RCA con peróxido de hidrógeno ácido y soluciones de hidróxido de amonio. Sin embargo, los últimos avances en tecnología de limpieza han introducido nuevos procesos de limpieza, como la limpieza con ozono y los sistemas de limpieza megasónicos. Muchos fabricantes de obleas han adoptado estos nuevos procesos para optimizar la eficacia de la limpieza.
En resumen, aunque la limpieza de obleas individuales sigue siendo esencial, los equipos de limpieza por lotes continúan dominando el panorama de la limpieza de obleas debido a su rentabilidad y eficacia. Si tiene alguna pregunta sobre los equipos de limpieza de obleas, no dude en consultar a los representantes del servicio de atención al cliente en línea de Silman Tech.
